據南方財富網概念查詢工具數據顯示，相關光刻技術上市公司有：

（1）、蘇大維格：蘇大維格2025年第一季度季報顯示，公司實現營業(yè)總收入4.53億元，同比增長-3.93%；實現毛利潤9457.96萬元。

公司長期從事激光直寫光刻機的研制，尤其在用于新一輪光子傳感器的納米光刻機研制領域積累了豐富且較為完善的技術經驗，可為國內外高等院所和企業(yè)提供自主可控的直寫光刻技術和光電子材料與器件技術方案，包括微納光學材料、MEMS產品、射頻器件、濾波器件等產品的研發(fā)與制造，也可為今后裸眼3D顯示、光子晶體、半導體功率芯片等研發(fā)和制備等方面，提供前沿性和實用性納米光刻工具。公司光刻設備除自用外，主要向國內外高校及科研院所銷售。

蘇大維格近7個交易日，期間整體下跌6.6%，最高價為22.47元，最低價為23.16元，總成交量5909.92萬手。2025年來下跌-0.6%。

（2）、芯碁微裝：芯碁微裝公司2024年第三季度實現總營收2.68億，同比增長30.87%；毛利潤1.06億，毛利率39.51%。

微納直寫光刻技術為核心的直接成像及直寫光刻設備研發(fā)、制造、銷售及維保。

近7日芯碁微裝股價上漲5.52%，2025年股價上漲33.49%，最高價為90.48元，市值為114.34億元。

（3）、惠倫晶體：2025年第一季度，公司實現總營收1.24億，同比增長-6.43%；毛利潤1880.18萬。

公司掌握的光刻技術主要應用于MHz領域，既能實現晶片的小型化也能實現晶片的高基頻。

近7日股價下跌2.61%，2025年股價下跌-13.04%。

數據僅參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。