據(jù)南方財(cái)富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，國產(chǎn)光刻機(jī)概念龍頭股有：

藍(lán)英裝備300293：

國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭，近7個(gè)交易日，藍(lán)英裝備上漲4.41%，最高價(jià)為26元，總市值上漲了4.06億元，上漲了4.41%。

全球領(lǐng)先的清洗系統(tǒng)和表面處理設(shè)備提供商，為ZEISS提供精密清洗設(shè)備，為ASML提供精密清洗解決方案。

蘇大維格300331：

國產(chǎn)光刻機(jī)龍頭，近7個(gè)交易日，蘇大維格上漲1.92%，最高價(jià)為21.73元，總市值上漲了1.12億元，2025年來上漲3.26%。

國內(nèi)領(lǐng)先的微納光學(xué)制造商，向SMEE提供定位光柵部件，光柵尺周期精度小于1nm，納米壓印技術(shù)國內(nèi)領(lǐng)先。

國產(chǎn)光刻機(jī)概念股其他的還有：

華懋科技603306：近5日股價(jià)下跌0.24%，2025年股價(jià)上漲29.74%。

彤程新材603650：近5個(gè)交易日股價(jià)上漲2.31%，最高價(jià)為33.59元，總市值上漲了4.61億，當(dāng)前市值為199.87億元。

清溢光電688138：近5個(gè)交易日，清溢光電期間整體下跌0.27%，最高價(jià)為30.63元，最低價(jià)為29.22元，總市值下跌了2518.4萬。

炬光科技688167：近5日炬光科技股價(jià)上漲14.42%，總市值上漲了12.96億，當(dāng)前市值為89.87億元。2025年股價(jià)上漲36.31%。

美�？萍�688376：回顧近5個(gè)交易日，美�？萍加�3天上漲。期間整體上漲5.56%，最高價(jià)為48.68元，最低價(jià)為43.8元，總成交量1590.85萬手。

富創(chuàng)精密688409：近5個(gè)交易日，富創(chuàng)精密期間整體上漲5.21%，最高價(jià)為63.08元，最低價(jià)為55.06元，總市值上漲了9.77億。

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